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技术需求及信息库

基本信息

  • R-0103 半导体外延设备零部件技术

  • 其它

  • 芯成果

  • 范老师

  • fanxiaoxiao@nicu.cn

技术简介

  • 需求概况:

        开发硅单晶衬底上外延生长一层或多层硅单晶薄膜的外延材料。


    主要技术指标:

        1. 需求应用范围及应用场景:

         用于制造半导体分立器件和集成电路,可用于制备MOSFET、双极型晶体管、IGBT器件、肖特基二极管、电荷藕合器件、CMOS图像传感器等多种产品。



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