基本信息

• 成果名称：

  S-0028 用于芯片制造的白光显微干涉仪及系统

• 成果分类：

  芯片设备

• 信息来源：

  芯成果

• 联系人：

  范老师

• 联系方式：

  fanxiaoxiao@nicu.cn

技术简介

• 成果概况：

          1、重点描述该成果可解的问题、先进性及主要技术指标、配套条件；

         白光显微干涉仪及系统，是用于芯片开发的主要检测仪器。广泛应用于集成电路芯片制造及封装工艺，检测光刻投影物镜镜面表面粗糙度、硅片表面粗糙度与集成电路芯片表面微观结构形貌。垂直分辨率达0.06 nm, 技术指标国际领先，仪器成熟度已达7级。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率。

         主要技术指标、配套条件

  　　垂直分辨率：0.06nm

         RMS重复性：0.007nm

         光学分辨率：0.49μm

         CCD分辨率：1392×1024

         最大视场：1英寸(可选)

         最小工作距离：15mm(5X物镜)

         反射率：<1%至100%

  
  

         2、应用范围及应用案例：

         可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率。样机在中科院微电子所，中国工程物理研究院核聚变研究中心等军民领域得到了推广应用。

  
  

• 产权编号：

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• 产权类型：

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• 成熟度：

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• 合作意向：

  技术转让、技术授权

需求文件